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보유기술

보유기술
플라즈마 발생 장치(ICP Source) 독자기술보유 (등록특허)
증착률 제어를 위한 Sputter 기술보유 (등록특허)
Sputter, ALD, E-beam Evaporator 제작 기술
Sputter, PECVD 제어 설계 기술 (PLC program)
반도체장비 및 LCD장비 전장 설계 기술
EFEM 제어 설계 및 Robot control box 설계 기술